LOW VACUUM ATM SHIM GAUGE 소개 및 특성
1) N2,AIR외 H2 , He , AR , CH4등 가스에도 사용가능
2) 가스밀도에 따라 1Torr이상에서 나타나는 대류현상에
영향을 받지 않고 값을 측정
3) 포지션에 영향을 받지 않는 ANY POSITION
4) 1Torr이상에서는 Piezo방식입니다.
5) 5Torr이상에서는 Accuracy ±2%이므로 대기압 측정시 별도의
기존 진공게이지외 ATM센서를 설치없이 ATM GAUGE 하나로
측정이 가능합니다.
